華中科技大學(xué)：國內(nèi)首套超精密主動(dòng)減振器面世

中國教育報(bào)-中國教育新聞網(wǎng)訊（記者 程墨 通訊員 高翔）7月10日，華中科技大學(xué)與武漢光谷“明星”企業(yè)——武漢格藍(lán)若智能技術(shù)股份有限公司簽署成果轉(zhuǎn)化合作協(xié)議，由后者出資8000萬元，對華中科技大學(xué)陳學(xué)東院士團(tuán)隊(duì)超精密主動(dòng)減振技術(shù)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化。

據(jù)悉，陳學(xué)東院士團(tuán)隊(duì)“20年磨一劍”，創(chuàng)新性地研發(fā)了準(zhǔn)零剛度、頻變阻尼、協(xié)同控制等超精密主動(dòng)減振核心技術(shù)，突破了降頻率與保承載、減共振與抑高頻、減振動(dòng)與穩(wěn)位姿三大技術(shù)矛盾，解決了高性能主動(dòng)減振關(guān)鍵核心技術(shù)難題。先后榮獲國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2次、國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)1次。

超精密主動(dòng)減振器是高端制造裝備、精密儀器設(shè)備的核心功能部件，是保證這些裝備高精度超穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體高端制造設(shè)備、高精密機(jī)械加工車床、量測/檢測設(shè)備、高端電子顯微鏡、科學(xué)儀器/設(shè)施、機(jī)載光電系統(tǒng)等領(lǐng)域。該產(chǎn)品不僅可以高效隔離外部振動(dòng)，還通過實(shí)時(shí)采集振動(dòng)信息，基于先進(jìn)的控制策略生成多維振動(dòng)控制信號(hào)，精準(zhǔn)抑制各種內(nèi)外部擾動(dòng)導(dǎo)致的臺(tái)體振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)被減振部件接近“絕對靜止”的狀態(tài)。

中國超精密主動(dòng)減振技術(shù)長期落后于國外企業(yè)，格藍(lán)若和陳學(xué)東院士團(tuán)隊(duì)一舉突破了超精密主動(dòng)減振器關(guān)鍵技術(shù)壁壘，打破國外壟斷，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)自主可控，產(chǎn)品核心技術(shù)指標(biāo)完全不輸國際頂尖企業(yè)。

在雙方的通力合作下，專門承載此技術(shù)成果的武漢格藍(lán)若精密技術(shù)有限公司于6月25日正式掛牌成立，基于前期合作研發(fā)成果，公司一口氣推出超精密型、抗沖擊型、適用真空型等20余款超精密主動(dòng)減振器。

據(jù)介紹，近年來，武漢光谷作為湖北科技創(chuàng)新的橋頭堡，創(chuàng)新工作機(jī)制，堅(jiān)持用為導(dǎo)向，不斷推進(jìn)科技成果落地轉(zhuǎn)化、關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，打造科技創(chuàng)新供應(yīng)鏈新體系，一批批科創(chuàng)型中小企業(yè)脫穎而出。格藍(lán)若只是這個(gè)群體中的普通一員，未來，還會(huì)有更多的首臺(tái)套、首批次技術(shù)成果在光谷綻放。